Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Belledent, Jerôme"'
Autor:
Gardin, Christian, Belledent, Jérôme, Trouiller, Yorick, Borjon, Amandine, Couderc, Christophe, Foussadier, Franck, Yesilada, Emek, Urbani, Jean-Christophe, Sundermann, Frank, Rody, Yves, Saied, Mazen, Planchot, Jonathan, Robert, Frederic
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2007 84(5):770-773
Autor:
Borjon, Amandine, Belledent, Jérôme, Trouiller, Yorick, Gardin, Christian, Couderc, Christophe, Rody, Yves, Sundermann, Frank, Urbani, Jean-Christophe, Foussadier, Franck, Planchot, Jonathan, Yesilada, Emek, Montgomery, Patrick, Willkinson, Bill, Saied, Mazen, Martinelli, Catherine, Kerrien, Gurwan, Cam, Laurent Le, Vautrin, Florent, Robert, Frédéric, Schiavone, Patrick
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2007 84(5):741-745
Autor:
Borjon, Amandine, Belledent, Jérôme, Trouiller, Yorick, Patterson, Kyle, Lucas, Kevin, Gardin, Christian, Couderc, Christophe, Rody, Yves, Sundermann, Frank, Urbani, Jean-Christophe, Baron, Stanislas, Foussadier, Frank, Schiavone, Patrick
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2006 83(4):1017-1022
Autor:
Borjon, Amandine, Belledent, Jerôme, Trouiller, Yorick, Patterson, Kyle, Lucas, Kevin, Couderc, Christophe, Sundermann, Frank, Urbani, Jean-Christophe, Baron, Stanislas, Rody, Yves, Gardin, Christian, Foussadier, Frank, Schiavone, Patrick
Publikováno v:
Proc. SPIE vol. 5992, 25th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology
Ensuring robust patterning after OPC is becoming more and more difficult due to the continuous reduction of layout dimensions and diminishing process windows associated with each successive lithographic generation. Lithographers must guarantee high i
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::aa5eb6e1d351fbca04f3803c3d71546c
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00023227
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00023227
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.