Zobrazeno 1 - 3 of 3 pro vyhledávání: '"Behrens, Ingo"'
1
Akademický článek
Hetero-micromachining of epitaxial III/V compound semiconductors
Autor: Peiner, Erwin *, Fricke, Klaus, Behrens, Ingo, Bakin, Andrey, Schlachetzki, Andreas
Publikováno v: In Sensors & Actuators: A. Physical 2000 85(1):324-329
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Piezoresistive cantilever as portable micro force calibration standard.
Autor: Behrens, Ingo, Doering, Lutz, Peiner, Erwin
Publikováno v: Journal of Micromechanics & Microengineering; Jul2003, Vol. 13 Issue 4, pS171-S177, 7p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Micromachining of silicon carbide on silicon fabricated by low-pressure chemical vapour deposition.
Autor: Behrens, Ingo, Peiner, Erwin, Bakin, Andrey S., Schlachetzki, Andreas
Publikováno v: Journal of Micromechanics & Microengineering; Jul2002, Vol. 12 Issue 4, p1-1, 1p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje