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Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Entwicklung von neuartigen metallorganischen Präkursoren, die in Prozessen der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD) implementiert werden, um Dünnschichten mit verbess
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3579::c750cd26a43586d6ce399ee3319f6978
https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/files/8446/diss.pdf
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