Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras através da microscopia fototérmica de reflexão : a interferência optotérmica e o aumento de contraste

Autor: Batista, Jerias Alves

Publikováno v: Repositório Institucional da UnicampUniversidade Estadual de CampinasUNICAMP.

Orientador: Antonio Manuel Mansanares
Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin"
Made available in DSpace on 2018-07-27T09:21:04Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Batista_JeriasAlves_D.pdf: 1261891

Externí odkaz: http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277290

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Microscopia fototérmica de reflexão aplicada à caracterização de dispositivos microeletrônicos

Autor: Batista, Jerias Alves

Publikováno v: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP

Orientador: Antonio Manoel Mansanares Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin Resumo: Um importante passo para o desenvolvimento de estruturas microeletrônicas é a avaliação não destrutiva

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::66787dba01b0f3a3861e267b943168ea
https://doi.org/10.47749/t/unicamp.1996.111551

Accuracy of photocarrier radiometric measurement of electronic transport properties of ion-implanted silicon wafers.

Autor: Bincheng Li, Shaughnessy, Derrick, Mandelis, Andreas, Batista, Jerias, Garcia, Jose

Publikováno v: Journal of Applied Physics; 7/1/2004, Vol. 96 Issue 1, p186-196, 11p, 1 Diagram, 3 Charts, 8 Graphs

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