Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Baracchi, Emanuele"'
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p329-337, 9p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p46-50, 5p
Autor:
Peter, Kai, Schaetz, Thomas, Ordynskyy, Volodymyr, Liebe, Roman, Verbeek, Martin, Galan, Gerald, Baracchi, Emanuele, Miramond, Corinne, Brueck, Hans-Juergen, Scheuring, Gerd, Engel, Thomas, Eran, Yair, Sommer, Karl, Hartmann, Hans
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2001, Issue 1, p117-124, 8p
Autor:
Schaetz, Thomas, Hartmann, Hans, Peter, Kai, Lalanne, Frederic P., Maurin, Olivier, Baracchi, Emanuele, Miramond, Corinne, Brueck, Hans-Juergen, Scheuring, Gerd, Engel, Thomas, Eran, Yair, Sommer, Karl
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2000, Issue 1, p84-92, 9p
Definition of new quality criteria and assessment means for masks at 150-nm design rules and beyond.
Autor:
Baracchi, Emanuele, Brueck, Hans-Juergen, Engel, Thomas, Eran, Yair, Lalanne, Frederic P., Maurin, Olivier, Ordynskyy, Volodymyr, Schaetz, Thomas, Sommer, Karl
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1999, Issue 1, p178-188, 11p
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.