Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Badin, Viktor"'
Publikováno v:
In Ultramicroscopy November 2023 253
Autor:
Badin, Viktor
The aim of this master's thesis is to explore and study dynamic aberration correction options in electron-beam lithography systems. For the calculations, the thesis uses the optical column of the BS600 electron-beam writer. The thesis focuses on corr
Externí odkaz:
http://www.nusl.cz/ntk/nusl-232048
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In The Chemical Engineering Journal and The Biochemical Engineering Journal 1995 59(3):259-263
Autor:
Badin, Viktor, Cvengroš, Ján
Publikováno v:
In The Chemical Engineering Journal 1992 49(3):177-180