Zobrazeno 1 - 10
of 57
pro vyhledávání: '"B.W. Dudley"'
Experimental demonstration of replicated multimode interferometer power splitter in Zr-doped sol-gel
Publikováno v:
Journal of Lightwave Technology. 24:612-616
A single-mode waveguide and a 1 /spl times/ 3 multimode interference (MMI) power splitter are fabricated in hybrid zirconium (Zr)-doped sol-gel material by a microreplication technology with a polydimethylsiloxane (PDMS) replica. The power splitter,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7c9596207ff86e3ea2e0c727e63e47a2
https://doi.org/10.1109/jlt.2005.859849
https://doi.org/10.1109/jlt.2005.859849
Autor:
T.D. DuBois, Stephen M. Bobbio, S.K. Jones, J.L. Nickel, Farid M. Tranjan, J.E. Bousaba, L.E. Qushair, B.W. Dudley, M.T. Jose
Publikováno v:
IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology: Part A. 18:195-200
This paper presents chemically modified photoresists for use as plasma etch masks over various substrates during patterning in IC manufacturing with sub-0.5 /spl mu/m resolution. The modification consists of directly adding the modifying compounds in
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0f89a497551cf35f415164c36325784b
https://doi.org/10.1109/95.370755
https://doi.org/10.1109/95.370755
Autor:
Gary S. Calabrese, R. Sinta, B.W. Dudley, S.K. Jones, J. F. Bohland, P.W. Freeman, E. K. Pavelchek
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 21:231-234
SAHRTM [1–3] ( S ilylated A cid H ardened R esist) employs chemically amplified crosslinking of exposed areas and results in positive-toned features following dry development. Two undersirable characteristics of this process have been identified an
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::420cac6f0302977d02acfff0835ed09c
https://doi.org/10.1016/0167-9317(93)90062-a
https://doi.org/10.1016/0167-9317(93)90062-a
Autor:
Farid M. Tranjan, S.K. Jones, Stephen M. Bobbio, T.D. DuBois, J.D. Jacobson, M.D. Kellam, Scott H. Goodwin-Johansson, B.W. Dudley
Publikováno v:
[1993] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems.
Integrated force arrays (IFAs), which are flexible metallized membranes that can be patterned using the techniques of VLSI electronics and that undergo substantial deformation when voltage is applied, have been developed. They may be configured as ma
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::36d1ea186aa89561cd9ef45b056538c4
https://doi.org/10.1109/memsys.1993.296931
https://doi.org/10.1109/memsys.1993.296931
Autor:
S.H. Goodwin-Johansson, J.E. Bousaba, Farid M. Tranjan, B.W. Dudley, S.K. Jones, J.D. Jacobson, M.D. Kellam, Stephen M. Bobbio, T.D. DuBois
Publikováno v:
1994 Proceedings. 44th Electronic Components and Technology Conference.
Integrated Force Arrays (IFAs) are membrane based actuators that are made of polyimide material. They are metallized membranes that are flexible enough to undergo substantial deformation when a voltage is applied. IFAs can be patterned using the tech
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fb4c250d928467ad8e45c2fd868e1576
https://doi.org/10.1109/ectc.1994.367530
https://doi.org/10.1109/ectc.1994.367530
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.