Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"B.D. Speldrich"'
Autor:
B.D. Speldrich, I. Glasgow, J.D. Zook, J.A. Cox, T.J. Wagener, Thomas R. Ohnstein, T.R. Christenson, Henry Guckel, E.T. Klein
Publikováno v:
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d1ea357e00b739290bd79d126921cdd4
https://doi.org/10.1109/memsys.1995.472585
https://doi.org/10.1109/memsys.1995.472585
Publikováno v:
Technical Digest IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop.
Thermoelectric (TE) bonds between two silicon wafers have been formed using sputtered Pyrex films. The bond area was defined by patterning and etching reliefs into a silicon wafer. The bond geometry was varied from square to circular annuli with vary
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6fa130ac992c754eb3022a453a29643f
https://doi.org/10.1109/solsen.1992.228270
https://doi.org/10.1109/solsen.1992.228270
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.