Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"B.B. Bahuguna"'
Publikováno v:
IETE Technical Review. 15:131-134
To accurately position the stages in optical stepper, laser interferometer is used. Recently, a new type of displacement transducer, called Laser Doppler Displacement (LLD) system is available. This paper proposes a scheme for possible adoption of LL
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::082042795a52704b380ce0cb085c5868
https://doi.org/10.1080/02564602.1998.11416740
https://doi.org/10.1080/02564602.1998.11416740
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.