Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"B.B. Bahuguna"'
Publikováno v:
IETE Technical Review. 15:131-134
To accurately position the stages in optical stepper, laser interferometer is used. Recently, a new type of displacement transducer, called Laser Doppler Displacement (LLD) system is available. This paper proposes a scheme for possible adoption of LL
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::082042795a52704b380ce0cb085c5868
https://doi.org/10.1080/02564602.1998.11416740
https://doi.org/10.1080/02564602.1998.11416740
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
R. C. Kalonia, Gautam Mitra, G. S. Singh, R. K. Varma, Manpreet Singh, Manjit Singh, V. S. Sethi, M. S. Yadav
Publikováno v:
Optical Engineering; Jun2010, Vol. 49 Issue 6, p064303-064303-6, 1p