Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"B. Yokhin"'
Autor:
M. Wormington, B. Yokhin, D. Berman, A. Krokhmal, I. Mazor, P. Ryan, J. Wall, R. Bytheway, David G. Seiler, Alain C. Diebold, Robert McDonald, Amal Chabli, Erik M. Secula
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings.
High‐resolution X‐ray diffraction (HRXRD) is an established technique for the characterization and metrology of epitaxial thin‐films. However, its use by the silicon semiconductor industry has been limited due to the stringent reliability, spot
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7a3eb49b55f1b8961193c7f5ecaec7b3
https://doi.org/10.1063/1.3657890
https://doi.org/10.1063/1.3657890
Autor:
L. Plantier, J.-P. Gonchond, F. Pernot, A. Peled, C. Wyon, J.-C. Royer, B. Yokhin, David G. Seiler, Alain C. Diebold, Robert McDonald, C. Michael Garner, Dan Herr, Rajinder P. Khosla, Erik M. Secula
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings.
The automated metrology tool, combining X‐ray reflectivity XRR and small‐angle X‐ray scattering SAXS has been demonstrated as a capable equipment to assess standard porous Ultra low‐κ (ULK) metrology. Therefore those techniques have enabled
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::12ce0f3c5e618f18965636ebd5cd4dfe
https://doi.org/10.1063/1.2799395
https://doi.org/10.1063/1.2799395
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.