Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"B. Vermiere"'
Publikováno v:
International Conference on Microelectronic Test Structures, 2003..
An electrochemical sensor (trench device) is designed to measure wafer contaminant concentrations during ultra-pure water rinses. Electrical measurements on these structures enable the identification and modeling of the mechanisms of chemical contami
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ff7b588f51008b7cc5e42095c214ce3d
https://doi.org/10.1109/icmts.2003.1197463
https://doi.org/10.1109/icmts.2003.1197463
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.