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Autor:
B. S. Soto-Cruz, F. Lopez-Huerta
Publikováno v:
2012 8th International Caribbean Conference on Devices, Circuits and Systems (ICCDCS).
In the CMOS MEMS design the problems are centered on the sensor integration on-a-chip and its release post-process. The extracellular planar microelectrodes are straight form integrated due the layers CMOS possibilities, however the releasement of th
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8bc8473b2c19c5913cac1b58397fa120
https://doi.org/10.1109/iccdcs.2012.6188950
https://doi.org/10.1109/iccdcs.2012.6188950
Publikováno v:
Universidad Autónoma de Yucatán
UAY
Redalyc-UAY
Benemérita Universidad Autónoma de Puebla
BUAP
Redalyc-BUAP
UAY
Redalyc-UAY
Benemérita Universidad Autónoma de Puebla
BUAP
Redalyc-BUAP
En este trabajo se presenta el diseño e integración en un mismo substrato de silicio, un sensor electroquímico de pH y el circuito de lectura implementado en un proceso comercial estándar metal-óxido semiconductor complementario (CMOS) de 0.6 ¿
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::0890f180a25f04eb68ad33861598f63c
http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46719773007
http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46719773007
Publikováno v:
Semiconductor Science & Technology; Jul2016, Vol. 31 Issue 7, p1-1, 1p