Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"B. Manring"'
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 11:2765-2770
The effect of sputtering target crystallographic texture and grain size on film uniformity has been studied for advanced planar sputtering equipment. A grid of polygons over the target area was created by a computer program. Each polygon of the grid
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::309d9ff484ca87fa79319cea7c856120
https://doi.org/10.1116/1.578639
https://doi.org/10.1116/1.578639
Publikováno v:
Review of Scientific Instruments. 58:1477-1486
The detailed description, the experimental demonstration, and the design of single‐mode microwave cavity applicators are presented. These microwave applicators utilize an internally tuned, single‐mode (or selective multimode) cylindrical cavity t
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e1414aa3ed2546e74a8b32f9da2fabc8
https://doi.org/10.1063/1.1139384
https://doi.org/10.1063/1.1139384
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.