Výsledky vyhledávání

Etude de résines négatives sensibles aux électrons utilisées dans les procédés de microlithographie

Autor: C. Rosilio, C. Montginoul, R. Sagnes, L. Giral, B. Holil, F. Buiguez, F. Schué, B. Serre

Publikováno v: Revue de Physique Appliquée
Revue de Physique Appliquée, Société française de physique / EDP, 1985, 20 (3), pp.143-149. ⟨10.1051/rphysap:01985002003014300⟩

Les poly(parachlorométhylstyrène) et poly(parabromostyrène) présentent des propriétés lithographiques intéressantes sous irradiation électronique. Une sensibilité élevée, associée à de bonnes propriétés de résistance à la gravure pla

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::021111440b76f93358c55e9b217abfd3
https://doi.org/10.1051/rphysap:01985002003014300

Zobrazit plný text záznamu

Poly-4-bromostyrene, a high performance negative electron resist

Autor: F. Schué, B. Holil, R. Sagnes, C. Montginoul, L. Giral, F. Buiguez, B. Serre, Ch. Rosilio

Publikováno v: Microelectronic Engineering. 5:315-319

Poly-4-bromostyrene (PBS) is shown to have desirable combination of properties, including high sensitivity and high resolution. As a consequence, it is a very attractive candidate for high performance electron beam lithography. The dependence of resi

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5a12ff2551e2328eecf8cc54be2f150f
https://doi.org/10.1016/0167-9317(86)90059-6

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Conference

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Reaction mechanism of fluorinated chemically amplified resists.

Autor: Yamamoto, Hiroki, Kozawa, Takahiro, Okamoto, Kazumasa, Saeki, Akinori, Tagawa, Seiichi, Ando, Tomoyuki, Sato, Mitsuru, Komano, Hiroji

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Jul/Aug2006, Vol. 24 Issue 4, p1833-1836, 4p, 5 Graphs

Zobrazit plný text záznamu