Zobrazeno 1 - 10
of 24
pro vyhledávání: '"B. Baudemprez"'
Autor:
Hugo Bender, Craig Huffman, Stephan Brus, S. Lok, Liesbeth Witters, Christa Vrancken, Philippe Absil, Sofie Mertens, P. Ong, Bertrand Parvais, V. Truffert, D. Laidler, Serge Biesemans, Nancy Heylen, Anabela Veloso, Malgorzata Jurczak, Nadine Collaert, S. Vanhaelemeersch, C. Baerts, M. Ercken, A.M. Goethals, Steven Demuynck, S. Verhaegen, J. De Backer, G.F. Lorusso, Michal Rakowski, K. Shah, D. Goossens, C. Delvaux, L. Romijn, A. De Keersgieter, Kurt G. Ronse, E. Altamirano, J. Hermans, Hans Meiling, Rita Rooyackers, P. Boelen, O. Richard, J. Versluijs, Andriy Hikavyy, J.-F. de Marneffe, J. Gelatos, A. Van Dijk, A. Noori, B. Hultermans, R. Arghavani, R. Schreutelkamp, Marc Demand, Anne Lauwers, B. Baudemprez, R. Cartuyvels, T. Y. Hoffmann, C. Pigneret, F. Van Roey
Publikováno v:
2008 IEEE International Electron Devices Meeting.
We report on a major advancement in full-field EUV lithography technology. A single patterning approach for contact level by EUVL (NA=0.25) was used for the fabrication of electrically functional 0.186 mum2 6T-SRAMs, with W-filled contacts. Alignment
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a8ddd66c6795bfebeab27bdbb9ae5a2f
https://doi.org/10.1109/iedm.2008.4796834
https://doi.org/10.1109/iedm.2008.4796834
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.