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Herstellung von Mikrostrukturen zur Beeinflussung des Bahndrehimpulses elektromagnetischer Strahlung
Am Laserinstitut Hochschule Mittweida wird seit mehreren Jahren zur laserbasierten Herstellung mikrooptischer Bauelemente geforscht. Mit dem verwendeten Maskenprojektionsverfahren k��nnen, je nach Maskenform und Bewegungsregime, unterschiedliche
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0ae953fbfcf909a4864243348e64b125
