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Full Custom MEMS Design: 2.5D Fabrication-Process Simulation for 3D Field-Solver-Based Circuit Extraction

Autor: Johannes Seelhorst, Axel Hald, Hartmut Marquardt, Jens Lienig, Jurgen Scheible, Pekka Herzogenrath

Publikováno v: IEEE Sensors Journal. 19:5710-5717

Due to the lack of sophisticated component libraries for microelectromechanical systems (MEMS), highly optimized MEMS sensors are currently designed using a polygon-driven design flow. The advantage of this design flow is its accurate mechanical simu

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::858092ee8102dfe741ff66e265de594d
https://doi.org/10.1109/jsen.2019.2906060

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Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Autor: Axel Hald

Im Entwurf von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) gewinnen die parasitären elektrostatischen Effekte immer mehr an Einﬂuss. Auslöser hierfür ist der wirtschaftlich bedingte Zwang zur Minimierung von Chipﬂäche, der neben einer ständigen

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3aee3ae5f44eb7819cf70b86f10c9ab7
https://doi.org/10.51202/9783186473202

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3 MEMS-Entwurf

Autor: Axel Hald

Publikováno v: Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a635243111f287e06b797e2ac5369697
https://doi.org/10.51202/9783186473202-25

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9 Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben

Autor: Axel Hald

Publikováno v: Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dee8bee943d58bc728b67351c19ff484
https://doi.org/10.51202/9783186473202-138

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