Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"Ataka, Masashi"'
Seamless long line and space pattern fabrication for nanoimprint mold by using electron beam stepper
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering August 2011 88(8):2074-2078
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p63493P-63493P-10, 10p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2005 Part 2, Issue 1, p59924G-59924G-8, 8p
Autor:
Ataka, Masashi, Kitayama, Yasunobu, Takahashi, Katsuyuki, Nakamura, Naoyuki, Santo, Izumi, Satoh, Hitomi, Anazawa, Norimichi
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2005 Part 2, Issue 1, p59924H-59924H-10, 10p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p328-335, 8p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1998 Part 2, Issue 1, p505-512, 8p
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2001, Vol. 19 Issue 4, p1264-1268, 5p