Zobrazeno 1 - 10
of 45
pro vyhledávání: '"Ashauer, M."'
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 2010 162(2):373-378
Autor:
Billat, S., Storz, M., Ashauer, H., Hedrich, F., Kattinger, G., Lust, L., Ashauer, M., Zengerle, R.
Publikováno v:
In Procedia Chemistry September 2009 1(1):1459-1462
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 2002 97:323-328
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 1999 74(1):246-250
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 1999 73(1):7-13
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
We are reporting on a new application of state of the art silicon pressure sensors in measurement of volume flows. Due to small sensor dimensions and suitable device passivation, the sensor element can be placed right in the flowing medium and detect
Publikováno v:
TRANSDUCERS 2009 - 2009 International Solid-State Sensors, Actuators & Microsystems Conference; 2009, p1261-1264, 4p
Publikováno v:
2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); 2007, p119-122, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings MEMS 98 IEEE Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines & Systems (Cat No98CH36176; 1998, p351-355, 5p