Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Annealed ruthenium"'
Autor:
Q.T. Le, E. Gül Arslan, J. Rip, H. De Coster, P. Verdonck, D. Radisic, F. Schleicher, I. Vaesen, T. Conard, E. Altamirano-Sanchez
Publikováno v:
Micro and Nano Engineering, Vol 19, Iss , Pp 100208- (2023)
Ruthenium (Ru) is a noble metal and is known to be resistant to many common chemicals and mixtures. We report in this study a controlled etching/recessing of Ru via wet processing and a combination of dry and wet process using metal-free chemical mix
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/b87555e7064846dba9edb84348476e52
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.