Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Anne Didiergeorges"'
Autor:
Corinne Comboroure, Yorick Trouiller, Anne Didiergeorges, Yves Quere, Gilles L. Fanget, Cyrille Laviron
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
The goal of this paper is to understand the optical phenomena at dielectric levels (contact, local interconnect, via and damascene line levels). The purpose is also to quantify the impact of dielectric and resist thickness variations on the CD range
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bbec2c068c11da352a83bcd172dc89d8
https://doi.org/10.1117/12.360577
https://doi.org/10.1117/12.360577
Autor:
Anne Didiergeorges, Corinne Comboure, Gilles L. Fanget, Yorick Trouiller, Yves Quere, Cyrille Laviron
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
The goal of this paper is to understand the optical phenomena at dielectric levels. The purpose is also to quantify the impact of dielectric and resist thickness variations on the CD range with and without Bottom Anti Reflective COating (BARC). First
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::34756d601f8811bf05c8f17968afa636
https://doi.org/10.1117/12.354407
https://doi.org/10.1117/12.354407
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.