Zobrazeno 1 - 10
of 35
pro vyhledávání: '"Andrieux, Michel"'
Publikováno v:
In Surfaces and Interfaces June 2019 15:110-116
Publikováno v:
In Engineering Fracture Mechanics 1 June 2019 214:378-389
Publikováno v:
In Polyhedron 13 February 2013 50(1):31-35
Autor:
Seisenbaeva, Gulaim A., Gohil, Suresh, Kessler, Vadim G., Andrieux, Michel, Legros, Corinne, Ribot, Patrick, Brunet, M., Scheid, E.
Publikováno v:
In Applied Surface Science 2011 257(6):2281-2290
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Brunet, Magali, Scheid, Emmanuel, Galicka-Fau, Karolina, Andrieux, Michel, Legros, Corinne, Gallet, Isabelle, Herbst, Michaële, Schamm, Sylvie
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2009 86(10):2034-2037
Autor:
Andrieux, Michel, Viallet, Virginie, Le Stum, Malwenn, Rapenne, Laetitia, Ghysel, Michaele, Haut, C., Condat, Marc
Publikováno v:
In Applied Surface Science 30 January 2004 222(1-4):351-356
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Seisenbaeva, Gulaim, Gohil, Suresh, Kessler, Vadim, Andrieux, Michel, Legros, Corinne, Ribot, Patrick, Brunet, Magali
Publikováno v:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
Journal of Nanoscience and Nanotechnology, American Scientific Publishers, 2011, 11 (9), pp.8302-8308. ⟨10.1166/jnn.2011.5042⟩
Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2011, 11 (9), pp.8302-8308. ⟨10.1166/jnn.2011.5042⟩
Journal of Nanoscience and Nanotechnology, American Scientific Publishers, 2011, 11 (9), pp.8302-8308. ⟨10.1166/jnn.2011.5042⟩
Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2011, 11 (9), pp.8302-8308. ⟨10.1166/jnn.2011.5042⟩
International audience; Strontium titanate SrTiO3 thin films are highly perspective as gate dielectric material. Difference in volatility of the common homometallic precursors-strontium beta-diketonates and titanium alkoxides remains major hinder for
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::af5c1c08327c8b6d85abfce22ab9fcc0
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01753100
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01753100
Autor:
Brunet, Magali, Scheid, Emmanuel, Galicka-Fau, Karolina, Andrieux, Michel, LEGROS, Corinne, Gallet, Isabelle, Herbst, Michaële, Schamm-Chardon, Sylvie
Publikováno v:
Microelectronic Engineering
Microelectronic Engineering, Elsevier, 2009, 86 (10), pp.2034-2037. ⟨10.1016/j.mee.2009.01.034⟩
Microelectronic Engineering, 2009, 86 (10), pp.2034-2037. ⟨10.1016/j.mee.2009.01.034⟩
Microelectronic Engineering, Elsevier, 2009, 86 (10), pp.2034-2037. ⟨10.1016/j.mee.2009.01.034⟩
Microelectronic Engineering, 2009, 86 (10), pp.2034-2037. ⟨10.1016/j.mee.2009.01.034⟩
International audience; The present work deals with high-density integrated capacitors for output filters in future micro DC-DC converters. To reach high capacitance density, 3D structures were created in silicon with DRIE followed by MOCVD of ZrO2 (
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::1b6cf6422ff1e8efdf1e0892a4a49887
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01443057/file/MEE-S-08-01224-2.pdf
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01443057/file/MEE-S-08-01224-2.pdf