Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Anğay, Fırat"'
Autor:
Bairagi, Samiran, Lorentzon, Marcus, Angay, Firat, Magnusson, Roger, Birch, Jens, Hsiao, Ching-Lien, Ghafoor, Naureen, Järrendahl, Kenneth
We present the first report on fabrication of Hafnium aluminum nitride chiral sculptured thin films (CSTFs) using reactive magnetron sputtering in a glancing angle deposition configuration, and the analysis of its optical polarization properties. The
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2404.04675
Publikováno v:
In Surface & Coatings Technology 15 October 2020 399
Publikováno v:
Journal of Applied Physics; 3/14/2022, Vol. 131 Issue 10, p1-11, 11p
Autor:
Anğay, Fırat
Bu çalışmada radyo frekansı (RF) reaktif magnetron saçtırma tekniğiyle farklı film üretim parametrelerinde biriktirilen tantalum nitrür (TaN) ince filmlerde biriken kalıntı gerilmelerin film üretim koşullarına göre değişimi, içerdi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3346::17ae956a0a723e29ce622c498d66977b
https://hdl.handle.net/11468/4193
https://hdl.handle.net/11468/4193
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.