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Autor:
Altaweel, Ayman
L’étude de l’oxydation de films minces de cuivre déposés par pulvérisation magnétron sur des substrats de silicium et de verre a été menée au moyen d’une micro-post-décharge micro-ondes dans l’objectif de faire croître de manière l
Externí odkaz:
http://www.theses.fr/2014LORR0059/document
Autor:
Altaweel, Ayman
Publikováno v:
Autre [cond-mat.other]. Université de Lorraine, 2014. Français. ⟨NNT : 2014LORR0059⟩
Oxidation of copper thin films deposited by magnetron sputtering on silicon and soda-lime glass substrates was performed by means of a microwave micro-afterglow to grow locally controlled nanostructures of copper oxide. The use of plasma discharges o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::1d5d16ca7db595062e556a8e4d655dfa
https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01750767
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