Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Alex Barajas"'
Autor:
Abhinav Tripathi, Alex Barajas, Francois Doniat, James McAndrew, Ian Ivar Suni, Craig D. Burkhard, Yuzhuo Li
Publikováno v:
Journal of The Electrochemical Society. 155:H918
Cu electrochemical mechanical planarization (ECMP) is currently being investigated to replace or supplement Cu chemical mechanical planarization (CMP) due to the introduction of porous low-k dielectric materials, which may not withstand the mechanica
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bc40b68139f9ed67f755df0d1facefc9
https://doi.org/10.1149/1.2980439
https://doi.org/10.1149/1.2980439
Autor:
Ian I. Suni, Abhinav Tripathi, Craig Burkhard, Yuzhuo Li, Alex Barajas, Francois Doniat, James McAndrew
Publikováno v:
ECS Meeting Abstracts. :844-844
not Available.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4d806bc7f1bece3ef3725d0523f7b761
https://doi.org/10.1149/ma2007-01/18/844
https://doi.org/10.1149/ma2007-01/18/844
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.