Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Akira Nishina"'
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics. 36:6999
We developed high pressure ionization mass spectrometry (HPIMS) to monitor trace impurities in nitrogen ( N2) gas in order to establish an ultra-high purity (UHP) N2 supplying technology for ULSI fabrication. We also demonstrated that the oxygen ( O2
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a60d84eb57cfa5918fb517a57ec53e8d
https://doi.org/10.1143/jjap.36.6999
https://doi.org/10.1143/jjap.36.6999
Autor:
Akira Nishina
Publikováno v:
Folia Endocrinologica Japonica. 33:637-663,569
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6f84e152869b71b8b5327a67a82bdf84
https://doi.org/10.1507/endocrine1927.33.7_637
https://doi.org/10.1507/endocrine1927.33.7_637
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Ishihara, Yoshio, Umehara, Hitomi, Akira Nishina, Akira Nishina, Tetsuya Kimijima, Tetsuya Kimijima
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics; November 1997, Vol. 36 Issue: 11 p6999-6999, 1p