Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Akinori Kurikawa"'
Autor:
Atsushi Nobe, Hideaki Kawashima, Akinori Kurikawa, Hisashi Kasahara, Fumiko Ohta, Yasushi Okubo
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::acd999d8a39fc1094cca46455a8c71ca
https://doi.org/10.1117/12.632556
https://doi.org/10.1117/12.632556
Autor:
Yasunori Yokoya, Hideo Kobayashi, Takao Higuchi, Keishi Asakawa, Akinori Kurikawa, Tadashi Sakurai, Masahiro Hashimoto, Fumiko Ota
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::10bf0c506d5f672c08ff108f8d1dbfcd
https://doi.org/10.1117/12.377099
https://doi.org/10.1117/12.377099
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
In 1992, we began development of SiC membranes for X-ray masks using a prototype LPCVD system. A production type LPCVD system had been newly designed to provide significant improvements in film uniformity and achieved high productivity. SiC films of
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::72abbbf4dd4fd5b95095ac39f504f421
https://doi.org/10.1117/12.360243
https://doi.org/10.1117/12.360243
Publikováno v:
SHINKU. 28:456-459
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::eb81a2b2f8210c653fe8e2e3837ea0cd
https://doi.org/10.3131/jvsj.28.456
https://doi.org/10.3131/jvsj.28.456
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.