Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Akabane, Yuko"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Surface energy engineering for LiTaO3 and α-quartz SiO2 for low temperature (<220 °C) wafer bonding.
Autor:
Baker, Brian, Herbots, Nicole, Whaley, Shawn D., Sahal, Mohammed, Kintz, Jacob, Yano, Aliya, Narayan, Saaketh, Brimhall, Alex L., Lee, Wey-Lyn, Akabane, Yuko, Culbertson, Robert J.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Jul2019, Vol. 37 Issue 4, pN.PAG-N.PAG, 17p
