Výsledky vyhledávání - "Aaskov, William A."

Conference

Sulfur-free cleaning strategy for advanced mask manufacturing.

Autor: Kindt, Louis, Watts, Andrew, Burnham, Jay, Aaskov, William

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p63491J-63491J-10, 10p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Early mask results of KRS-XE and current progress in improving sensitivity and etch resistance.

Autor: Deverich, Christina, Watts, Andrew J., Rabidoux, Paul A., Cardinali, Thomas J., Aaskov, William A., Levin, Peter, Huang, Wu-Song, Moreau, Wayne M., Angelopoulos, Marie, Petrillo, Karen E., Madeiros, David

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p229-240, 12p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Comparing photomask and wafer post-develop defect formation.

Autor: Smith, Adam, Aaskov, William A., Knight, Stephen E., Leidy, Robert K., Watts, Andrew J.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p684-689, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Investigation of a negative i-line resist with the CORE-2564 laser writer.

Autor: Grenon, Brian J., Sprout, Donna M., Aaskov, William A., Buck, Peter D.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; 11/ 1/1994, Issue 1, p149-155, 7p

Zobrazit plný text záznamu