Zobrazeno 1 - 10
of 39
pro vyhledávání: '"A.K. Chernyshev"'
Autor:
N. Kumar, V.A. Volodin, S.V. Goryainov, A.K. Chernyshev, A.T. Kozakov, A.A. Scrjabin, N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, M.V. Zorina
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 534:97-102
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b5a741db4ba93bfdc32a0db4703da866
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.11.016
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.11.016
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
null N.I. Chkhalo, null M.V. Zorina, null A.K. Chernyshev, null M.S. Mikhailenko, null A.E. Pestov
Publikováno v:
Technical Physics. 92:1046
The paper demonstrates the pulse mechanism of physical sputtering taking into account the evolution of the surface. The model is based on pulsed energy transfer in collision cascades. The main feature is the consideration of surface roughness. The re
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ad1f911ae666537d9b6008669ce1a6d4
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54571.84-22
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54571.84-22
Autor:
null N.N. Salaschenko, null N.I. Chkhalo, null M.V. Zorina, null A.K. Chernyshev, null A.E. Pestov, null M.S. Mikhailenko
Publikováno v:
Technical Physics. 92:1035
The paper presents the results of studying the energy dependences of the sputtering yields and the value of the effective surface roughness of single-crystal silicon upon irradiation with argon ions with an energy of 200-1000 eV. As a result of the w
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::643b9fedfbe42c5c700c2cd93b9ea162
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54569.70-22
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54569.70-22
Autor:
null N.I. Chkhalo, null M.V. Zorina, null A.A. Perekalov, null A.K. Chernyshev, null A.E. Pestov, null M.S. Mikhailenko
Publikováno v:
Technical Physics. 92:1062
The paper proposes to use the discharge energy for the synthesis of chemically active particles in order to correct the shape and aspherize the surface of optical elements by reactive ion-beam etching. A stand was assembled on the basis of a radio fr
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d231d457352fdaeb81c403676d061007
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54574.111-22
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54574.111-22
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.