Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"A.I. Kholopkin"'
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 55:386-392
A retrospective review of the development of ion implantation equipment in the USSR is presented and modern design philosophies are highlighted. The main developments made by Soviet scientists in the field of ion implantation over the past 30 years a
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e8238e9b123c4674e133d48c8da2293a
https://doi.org/10.1016/0168-583x(91)96199-u
https://doi.org/10.1016/0168-583x(91)96199-u
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 55:902-904
The ion projection lithography processes have been studied on octasilsesquioxanes-based dry resists. The investigations were carried out on an experimental ion projection lithography system in the gallium ion dose range of 10 12 -10 14 ions/cm 2 . Re
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::398f98c165d6e5df844bc1513424c8b4
https://doi.org/10.1016/0168-583x(91)96304-4
https://doi.org/10.1016/0168-583x(91)96304-4
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.