Zobrazeno 1 - 10
of 480
pro vyhledávání: '"A. Clausner"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Microelectronics Reliability September 2023 148
Autor:
Kristina Kutukova, Bartlomiej Lechowski, Joerg Grenzer, Peter Krueger, André Clausner, Ehrenfried Zschech
Publikováno v:
Nanomaterials, Vol 14, Iss 5, p 448 (2024)
High-resolution imaging of Cu/low-k on-chip interconnect stacks in advanced microelectronic products is demonstrated using full-field transmission X-ray microscopy (TXM). The comparison of two lens-based laboratory X-ray microscopes that are operated
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/e9b7f566572f40d298892183e55b6b42
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Bartlomiej Lechowski, Kristina Kutukova, Joerg Grenzer, Iuliana Panchenko, Peter Krueger, Andre Clausner, Ehrenfried Zschech
Publikováno v:
Nanomaterials, Vol 14, Iss 2, p 233 (2024)
High-resolution imaging of buried metal interconnect structures in advanced microelectronic products with full-field X-ray microscopy is demonstrated in the hard X-ray regime, i.e., at photon energies > 10 keV. The combination of two multilayer optic
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/8f208bc0ef98434c9081f9ea3d2394fb
Publikováno v:
In Microelectronics Reliability November 2022 138
Publikováno v:
In Materials & Design September 2022 221
Publikováno v:
In Microelectronics Reliability September 2022 136
Autor:
Wegener, Julian, Ho, Levin Chee Xian, Glavas, Vedran, Mueller, Jonathan Edward, Höhn, Sören, Clausner, André, Latz, Arnulf
Publikováno v:
In Energy Storage Materials March 2022 45:399-411