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pro vyhledávání: '"한갑수 ( Gap Su Han )"'
Publikováno v:
Korean Chemical Engineering Research. 53:557-564
기존의 초임계 이산화탄소를 이용하여 식각 및 건조하는 공정은 고압 건조기 외부에서 용매를 이용하여 웨이퍼를 식각한 후 고압 건조기로 이동시켜 초임계 이산화탄소를 이용하여 세정
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::505330b0026d3b00b9d15db631b2300b
https://doi.org/10.9713/kcer.2015.53.5.557
https://doi.org/10.9713/kcer.2015.53.5.557
