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pro vyhledávání: '"이송자"'
Publikováno v:
Journal of Digital Convergence; Sep2017, Vol. 15 Issue 9, p301-309, 9p
Publikováno v:
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society. 12:2267-2271
p-채널 박막트랜지스터에 이용할 수 있는 p-형 산화구리 박막반도체를 얻기 위한 연구를 하였다. 진공열증착 방법으로 산화구리 박막을 성막하였으며, 증착 후 열처리 조건을 조절하여 박막