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pro vyhledávání: '"오화섭 ( Hwa Sub Oh )"'
Autor:
박영호 ( Young Ho Park ), Joon Seop Kwak, 오화섭 ( Hwa Sub Oh ), 서재원 ( Jae Won Seo ), 박해성 ( Hae Sung Park )
Publikováno v:
Journal of the Korean Vacuum Society. 17:353-358
AlGaInP 기반 수직형 적색 LED (Light Emitting Diode)의 광추출효율을 증가시키기 위하여 화학적 etching 기술을 이용하여 n-AlGaInP 표면에 삼각몰 모양의 거칠기를 형성하였다. Etching은 H₃PO₄계의 용