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東京工芸大学工学部紀要 = The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University. 44(1):26-31
位相シフト干渉法は干渉する2光波間に一定の位相シフトを導入したときの3つ以上の干渉縞画像から被検の位相分布を百分の1波長以上の精度で導出する方法で、高精度位相計測の強力な