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pro vyhledávání: '"薛大鹏 Xue Da-peng"'
Autor:
王灿 Wang Can, 杜建华 Du Jian-hua, 薛大鹏 Xue Da-peng, 王路 Wang Lu, 刘英伟 Liu Ying-wei, 赵磊 Zhao Lei, 郭炜 Guo Wei, 陈宁 Chen Ning
Publikováno v:
Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays. 31:276-282
氧化铟锡(ITO)是薄膜晶体管工艺中最常用的透明导电薄膜,随着OLED技术的发展,ITO作为透明阳极材料也被广泛应用.在高厚度(尤其是大于70 nm)非晶ITO工艺过程中,由于多种因素的影响,很容易产生
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d5a8a8a9c823414931457790024f763e
https://doi.org/10.3788/yjyxs20163103.0276
https://doi.org/10.3788/yjyxs20163103.0276
