Výsledky vyhledávání - "後藤, 俊夫"

Report

電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究

Autor: 後藤, 俊夫, 堀, 勝, 伊藤, 昌文

科学研究費補助金研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:11305004 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1999-2001年度

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/13114

Zobrazit plný text záznamu

Report

UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発

Autor: 後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文, 寒川, 誠二, 塚田, 勉

科学研究費補助金研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:09355002 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1997-1999年度

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/13084

Zobrazit plný text záznamu

Report

ラジカル制御を用いた表面反応過程及び薄膜形成に関する研究

Autor: 後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文

科学研究費補助金研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:08405005 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1996-1998年度

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/13079

Zobrazit plný text záznamu

Report

分担課題：分光法による気相中のラジカル計測の研究

Autor: 後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文, 平松, 美根男

科学研究費補助金研究種目：重点領域研究課題番号：05237103 研究代表者：廣田榮治研究期間：1993 -1996年度.
http://kaken.nii.ac.jp/ja/p/05237103 では報告書表題は『フリ-ラジカルの科学の�

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/12803

Zobrazit plný text záznamu

Report

プラズマプロセスにおけるフリーラジカルに関する研究

Autor: 後藤, 俊夫, 菅井, 秀郎, 村岡, 克紀, 橘, 邦英, 渡辺, 征夫, 真壁, 利明, 安田, 幸夫, 田頭, 博昭

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/12802

Zobrazit plný text záznamu

Report

銅蒸気レ-ザの下準位原子の基礎過程に関する研究

Autor: 後藤, 俊夫, 岸本, 茂, 河野, 明廣

科学研究費補助金研究種目:一般研究(B) 課題番号:05452196 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1993-1994年度

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/13008

Zobrazit plný text záznamu

Report

反応性プラズマの制御

Autor: 後藤, 俊夫, 河野, 明宏, 岸本, 茂, 平松, 美根男, 廣田, 榮治, 山田, 千樫

科学研究費補助金研究種目：重点領域研究032 課題番号：1990年度・63632006, 1991年度・01632006, 1992年度・02214105 研究代表者：後藤俊夫研究期間：1990年～1992年度（当データは1992年度,報告番�

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/12677

Zobrazit plný text záznamu

Report

新しい縦型放電励起方式を用いた高速紫外パルスレーザの研究

Autor: 後藤, 俊夫, 河野, 明広, 岸本, 茂, 平松, 美根男

科学研究費補助金研究種目:一般研究(A) 課題番号:63420036 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1988-1990年度

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/12959

Zobrazit plný text záznamu

Report

プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究

Autor: 後藤, 俊夫, 稲葉, 成基, 羽根, 一博, 河野, 明広

科学研究費補助金研究種目:一般研究(B) 課題番号:17520427 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1985-1986年度

Externí odkaz: http://hdl.handle.net/2237/12922

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání