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科学研究費補助金研究成果報告書.
プリアモルファス化を行ったシリコン同位体試料に対して、フッ素とホウ素をイオン共注入し、拡散実験を行った。その結果、従来独立して考えられてきたフッ素・空孔クラスターから
Autor:
Itami, Toshio, Masaki, Tadahiko, Fukazawa, Tomoharu, Uchida, Misako, Uchida, Hiroyuki, Hoshino, Kozo, Takeda, Shinichi, Tsuchiya, Yoshimi, Munejiri, Shuji, Kamiyama, Takashi
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宇宙利用シンポジウム 第20回 平成15年度 = Space Utilization Research: Proceedings of the Twentieth Space Utilization Symposium. :186-189
The brief review is presented for the activity of the first IAO candidate plan [Roles of the short range order on the self- and impurity diffusion of liquid group 14(4B) elements with a different degree of complexity]. Various theoretical tools, liqu
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科学研究費補助金研究成果報告書.
シリコン安定同位体を用いて, シリコン中のシリコン原子の動きを直接観測することで, 共注入した炭素が, どのようにドーパント拡散を抑制しているかを調べた。結晶シリコン中では,
Autor:
Furukawa, Yoshinori, Yokoyama, Etsuro
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宇宙利用シンポジウム 第21回 平成16年度 = Space Utilization Research: Proceedings of the Twenty-first Space Utilization Symposium. :102-104
Ice crystal growth in supercooled water including certain proteins is inhibited by their adsorption at ice/water interface. While these proteins have dramatic consequence for natural biological processes and technological applications, only a little