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科学研究費補助金研究成果報告書.
本研究では,光学レンズの超精密研削加工におけるクラック抑制サーボ制御手法の開発に取り組んだ.始めに各駆動軸のサーボ情報とAEセンサを併用し,加工状態を3つに分類する加工