Effect of short-pulsed ion irradiation on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering

Autor: F. Konusov, S. Pavlov, A. Lauk, A. Kabyshev, V. Novikov, R. Gadirov, V. Tarbokov, G. Remnev

Publikováno v: Nuclear instruments and methods in physics research. Section B : Beam interactions with materials and atoms. 2022. Vol. 526. P. 51-59

The effect of short-pulsed irradiation with 220 keV carbon ions for fluences of 2.2 x 10(13) - 2.1 x 10(15) cm(-2 )on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering on silicon and steel subs

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::83e3aea4e0198f45fb0ba8675f501fa0
https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000999978

Получение пленок нитрида титана методом магнетронного распыления

В статье была разработана технология нанесения пленок нитрида титана (TiN) методом реактивного магнетронного распыления. Определен спек�

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3992::0ef3ee0ba759e20735a076a88582d00f
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36606