Zobrazeno 1 - 10
of 12
pro vyhledávání: '"плазменные установки"'
Autor:
Вехтер, Евгения Викторовна
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::5ed4bf202074d6f173a55171c2b74441
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/46485
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/46485
Autor:
Мышкин, Вячеслав Фёдорович
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::81d98856ece00144a95242c30076b7db
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32472
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32472
Publikováno v:
Journal of Physics: Conference Series. 2015. Vol. 652. P. 012020 (1-5)
The paper reports on the chemical composition of titanium nitride (TiN) and silicon (Si) coatings deposited with a new technological vacuum plasma setup which comprises magnetron sputtering systems, arc evaporators, and an efficient plasma generator.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::fd5a8c21d7dbd5e8c930fe9174c09ea2
https://openrepository.ru/article?id=810956
https://openrepository.ru/article?id=810956
Autor:
Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ, Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики металлов, Томский государственный университет Физический факультет Кафедра общей и экспериментальной физики
Publikováno v:
Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 3/2. С. 62-64
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=httpsopenrep::8662b2b0f110fe59bd21795ac52a993a
https://openrepository.ru/article?id=803933
https://openrepository.ru/article?id=803933
Autor:
Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ, Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики металлов, Томский государственный университет Физический факультет Кафедра общей и экспериментальной физики
Publikováno v:
Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 3/2. С. 62-64
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3810::b616a7b64aa42878fc0d6e2ea380b092
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000492708
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000492708
Autor:
Кривобоков, Валерий Павлович
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::23acaafdff92d5554f2ae310b8c059b1
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6868
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6868
Publikováno v:
Вестник Казанского технологического университета.
В статье приведены данные по разработанным плазменным установкам емкостного и индукционного разрядов, применяемых для модификации мех
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2806::e3cb80a4166940d969ebd8d845cadb57
http://cyberleninka.ru/article_covers/14737511.png
http://cyberleninka.ru/article_covers/14737511.png
