Effect of short-pulsed ion irradiation on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering

Autor: F. Konusov, S. Pavlov, A. Lauk, A. Kabyshev, V. Novikov, R. Gadirov, V. Tarbokov, G. Remnev

Publikováno v: Nuclear instruments and methods in physics research. Section B : Beam interactions with materials and atoms. 2022. Vol. 526. P. 51-59

The effect of short-pulsed irradiation with 220 keV carbon ions for fluences of 2.2 x 10(13) - 2.1 x 10(15) cm(-2 )on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering on silicon and steel subs

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::83e3aea4e0198f45fb0ba8675f501fa0
https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000999978

Исследование физико-механических свойств защитных покрытий систем Al-Si-N и Zr-Y-O, сформированных в условиях импульсного магнетронного осаждения

Autor: Божко, Ирина Александровна

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::7088ab9333c34a02a07f210685003026
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67768

СЛОЖНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ 'НЕПОЛЯРНЫХ' ПЛЕНОК ZnO ПРИ МАГНЕТРОННОМ ОСАЖДЕНИИ

По мере использования в фотонных устройствах “полярных” (0001) пленок соединений с вюрцитной структурой типа ZnO, GaN обнаружились значител

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bef66261bcd234037c0471fbe1152d54

ИССЛЕДОВАНИЕ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК РАСТВОРОВ (SiC)1-x(AlN)x, ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Рентгенодифракционными исследованиями установлено, что пленки (SiC)1-x(AlN)x, полученные на подложках карбида кремния методом магнетронного

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c304b0186122c605d54ba865561c727f

Разработка технологии сверхпроводящей многоуровневой разводки в скоростных GaAs структурах БИС/СБИС

Autor: Novosiadlyi, Stepan, Kotyk, Myhaylo, Dzundza, Bogdan, Gryga, Volodymyr, Novosiadlyi, Sviatoslav, Mandzyuk, Volodymyr

Publikováno v: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Том 1, № 5 (91) (2018): Applied physics; 53-62
Восточно-Европейский журнал передовых технологий; Том 1, № 5 (91) (2018): Прикладная физика; 53-62
Східно-Європейський журнал передових технологій; Том 1, № 5 (91) (2018): Прикладна фізика; 53-62

Technological aspects of the use of superconducting materials are considered and the possibility of making targets for magnetron deposition of films for the formation of cryoconductive wiring in GaAs-based LSI-structures is shown. The technological m

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=scientific_p::477d77db4a1488785e378bf72b37a2b2
http://journals.uran.ua/eejet/article/view/123143