Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"магнетронна розпилювальна система"'
Publikováno v:
Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika, Vol 24, Iss 6 (2019)
Для порівняння характеристик електронної хмари при збудженні розряду імпульсами прямокутної форми та імпульсами у формі затухаючої си
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/d8aac6605a914de9b55479f0b6986a1a
Publikováno v:
Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika, Vol 24, Iss 6 (2019)
Microsystems, Electronics and Acoustics; Том 24, № 6 (2019); 6-16
Микросистемы, Электроника и Акустика; Том 24, № 6 (2019); 6-16
Мікросистеми, Електроніка та Акустика; Том 24, № 6 (2019); 6-16
Microsystems, Electronics and Acoustics; Том 24, № 6 (2019); 6-16
Микросистемы, Электроника и Акустика; Том 24, № 6 (2019); 6-16
Мікросистеми, Електроніка та Акустика; Том 24, № 6 (2019); 6-16
In magnetron sputtering systems, an arc and arcing may happen at the cathode of a magnetron when operating in a reactive environment. To avoid their occurrence, pulse operating modes are used. For this, rectangular unipolar or bipolar pulses can be u
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::1fd2847824cb5a6d7d38fc177803037d
http://elc.kpi.ua/article/view/197171
http://elc.kpi.ua/article/view/197171
Publikováno v:
Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал, 2019, Т. 24, № 6(113)
Для порівняння характеристик електронної хмари при збудженні розряду імпульсами прямокутної форми та імпульсами у формі затухаючої си
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2635::130f5f2f92919532af8fea6d33b3db89
https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33447
https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33447
