ГАЗОВАЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ СТРУКТУР СО СЛОЕМ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, МОДИФИЦИРОВАННОГО МЕТАЛЛОМ

Autor: Evtukh, A. A., Gorbanyuk, T. I., Danilyuk, D., Litovchenko, V. G., Solntsev, V. S., Kuznetsov, G. V., Skryshevsky, V. A., Tsyganova, G. I.

Publikováno v: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Том 5, № 3 (2008); 45-53
Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 5, № 3 (2008); 45-53
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 5, № 3 (2008); 45-53

The researches of a surface morphology, electrophysical characteristics and gas sensitivity of the metal-silicon structures with a surface layer of the porous silicon modified by platinum and copper were carried out. It was shown, that the mechanism

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=scientific_p::62b7cb0b651b5f8a35d3c8e4fb913bb3
http://semst.onu.edu.ua/article/view/114668