ДОСЛІДЖЕННЯ ПЛІВОК SiC, ОТРИМАНИХ НА ПІДКЛАДИНЦІ porous-Si/Si. (Ukrainian)

Autor: Кідалов, В. В., Дяденчук, А. Ф., Жук, А. Г., Гудименко, О. Й., Сімченко, С. В.

Publikováno v: Chemistry, Physics & Technology of Surface / Khimiya, Fizyka ta Tekhnologiya Poverhni; 2024, Vol. 15 Issue 2, p221-229, 9p