Zobrazeno 1 - 1
of 1
pro vyhledávání: '"О. Г. Новаковський"'
Autor:
С. Ф. Петренко, О. Г. Новаковський, Віктор Степанович Антонюк, Є. В. Скорина, Юлія Юріївна Бондаренко
Publikováno v:
Вісник Черкаського державного технологічного університету, Vol 1, Iss 1, Pp 5-13 (2018)
The article briefly describes the principle and operating modes of atomic-force microscope (AFM), as well as the features of microgeometry and surface properties of dielectric materials for micro and nanoelectronics using AFM method. The purpose of t
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/41a644f722a24146878df2fe3fa32b21
