Zobrazeno 1 - 1
of 1
pro vyhledávání: '"А. В. Юшко"'
Autor:
А. В. Юшко, М. А. Зенкін
Publikováno v:
Технологія і техніка друкарства, Iss 4(30) (2010)
Проведено опис роботи лазерного еліпсометричного мікроскопа ЛЭМ-3 для контролю товщини тонких плівок. Показано, що еліпсометричні мето
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/545ea78df8584e4ca0af3fc5d21c3304
