Структурні дефекти у багатошаровій наносистемі Ni/Cu/Cr/Si, індуковані термічним та йонним впливами (Ukrainian)

Autor: Круглов, І. О., Капітанчук, Л. М., Ішикава, Т., Сидоренко, С. І., Волошко, С. М.

Publikováno v: Metallophysics & Advanced Technologies / Metallofizika i Novejsie Tehnologii; Feb2021, Vol. 43 Issue 2, p183-208, 26p